Złożoność struktur urządzeń stale rośnie, a co za tym idzie — konieczność wykonywania wysoce precyzyjnych pomiarów wafli i chipów, będących elementem składowym urządzenia. Dokładny pomiar wafli i chipów jest kluczowy dla zapewnienia wysokiej jakości produkcji półprzewodników.
Zastosowanie: pomiar wysokości wafli i chipów
Pomiar odkształcenia wafli może stanowić wyzwanie. Problemy te mogą wynikać z różnych przyczyn, takich jak naprężenia podczas obróbki lub wahania temperatury. Wraz ze zmniejszaniem grubości wafli odkształcenia podczas ich przetwarzania stają się bardziej widoczne. Brak możliwości precyzyjnego pomiaru może negatywnie wpływać na wydajność i efektywność produkcji urządzeń półprzewodnikowych.
Nasze rozwiązanie: bezkontaktowa, wysoce precyzyjna technologia wykrywania przemieszczenia
Technologie pomiarowe OMRON oparte na konfokalnym laserze są idealnym rozwiązaniem w przypadku wyzwań związanych z odkształceniem wafli. Oferują one bezkontaktowe metody pomiaru wafli przy zachowaniu wysokiej powtarzalności.
Opracowany przez OMRON unikalny, konfokalny czujnik przemieszczenia wykorzystujący światło białe oferuje wyższe rozdzielczości pomiarów dla powierzchni skośnych, zakrzywionych i błyszczących w porównaniu do tradycyjnych laserowych czujników przemieszczenia.
Zastosowanie: regulacja osi Z w procesie klejenia chipów
Pomiar wysokości chipów może stanowić wyzwanie. Wraz z pojawieniem się urządzeń 3D-IC, i tym podobnych, chipy o różnych wysokościach i wykonane z różnych materiałów muszą być precyzyjnie mierzone. Brak możliwości wykonania dokładnego pomiaru obiektu ma również istotny wpływ na regulację wysokości osi Z podczas pracy głowicy klejowej.
Nasze rozwiązanie: bezkontaktowa, wysoce precyzyjna technologia wykrywania przemieszczenia
Technologie pomiarowe OMRON oparte na konfokalnym laserze są idealnym rozwiązaniem w przypadku wyzwań związanych z regulacją wysokości osi Z. Oferują one bezkontaktowe metody pomiaru chipów przy jednoczesnym zapewnieniu wysokiej powtarzalności.
Opracowany przez OMRON unikalny, konfokalny czujnik przemieszczenia wykorzystujący światło białe oferuje wyższe rozdzielczości pomiarów dla powierzchni skośnych, zakrzywionych i błyszczących w porównaniu do tradycyjnych laserowych czujników przemieszczenia.
Technologie prorozwojowe
Zasada pomiaru konfokalnego przy wykorzystaniu światła białego
Firma OMRON jest jedną z pierwszych w branży, która zaadaptowała zasadę pomiaru konfokalnego przy wykorzystaniu światła białego wraz z wprowadzeniem na rynek serii ZW. Zasada ta umożliwia stabilny pomiar poruszających się obiektów w dowolnych, zróżnicowanych warunkach, m.in. powierzchni zgrubnych, zakrzywionych, pochyłych lub wąskich obszarów.
Powiązane produkty
Bezdotykowy, konfokalny czujnik przemieszczeń z białym światłem LED
Inspekcje kontroli jakości, szybkości produkcji oraz wyglądu są coraz bardziej rygorystyczne. Aby sprostać tym oczekiwaniom, należy zadbać o stabilność pomiarów podczas kontroli jakości — tak, aby nie ucierpiała na tym prędkość produkcyjna. Serii ZW działa na zasadzie pomiaru konfokalnego, wykorzystując światło białe, dzięki czemu możliwe jest spełnienie tych wymagań w przypadku większości rodzajów materiału (szkło, metal, tworzywa sztuczne itp.) oraz kształtu (okrągły, płaski, nierówny itp.)
Czy chcesz dowiedzieć się więcej?
Skontaktuj się z naszymi ekspertami
Proszę o kontakt Precyzyjny pomiar wysokości
Dziękujemy za wysłanie zapytania. Otrzymasz od nas odpowiedź tak szybko, jak to tylko będzie możliwe.
Problem techniczny. Akcja nie została wykonana. Przepraszamy - spróbuj ponownie.
Download